中微半导体设备（上海）有限公司近日宣布，福建省高级人民法院同意了中微对维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司（以下简称“Veeco上海”）的禁令申请，该禁令禁止了Veeco上海进口、制造、向任何第三方销售或者许诺销售侵犯中微第CN 202492576号专利的任何化学气相沉积装置及用于该等装置的基片托盘。
该禁令涵盖了TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2和EPIK 700 C4机型的MOCVD设备，以及在该MOCVD设备当中使用的基片托盘。中微认为Veeco EPIK 868机型MOCVD设备的旋转轴和基片托盘锁定同步装置也使用了中微涉案专利技术，因此该裁定也就涵盖了Veeco的EPIK 868机型以及在该设备中使用的基片托盘。该禁令将立即生效执行不可上诉。这一严格的禁令充分地表明了，Veeco上海公然侵犯中微的知识产权，Veeco上海极其不尊重中微的知识产权。
中微2017年7月13日便向福建省高级人民法院正式起诉了Veeco上海专利侵权，申请了对Veeco上海发布的永久禁令，并且赔偿中微经济损失费用1亿元人民币以上。在禁令颁布之前中微已经取得了一在先胜利。就在今年7月中微提起了诉讼之后，Veeco上海向国家知识产权局专利复审委员会（以下简称“专利复审委”）提交了专利无效宣告请求。另外还有一位自然人同时对该涉案专利提起了无效宣告请求。针对两个请求，专利复审委先后分别进行了开庭审理，并且于2017年11月24日驳回两个无效宣告请求，确认了中微专利有效。
